박막 소재

소재의 특성이 디스플레이의 성능을 가릅니다.

LT메탈은 그 정밀함을

매일 한 단계씩 높여갑니다.

박막 소재는 스퍼터링(Sputtering) 또는 증착(Evaporation) 공정을 통해 수 나노미터에서 수 마이크로미터 두께의 기능성 금속층을 형성하는 데 사용됩니다.
타겟 소재의 순도, 밀도, 결정 구조, 조성 균일성이 박막의 전기적·광학적 특성에 직접적인 영향을 미칩니다. 반도체, 디스플레이, 태양전지, 의료기기 등 다양한 첨단 산업에서 박막 소재의 품질은 제품 성능과 제조 안정성을 결정하는 핵심 요소입니다.

LT메탈은 ITO Target을 자체 분말 제조 기술로 국산화를 실현한 기업이며, 다년 간 쌓아온 금속합금 기술을 기반으로 세라믹 타겟 및 금속타겟의 일관된 품질과 안정적인 성능을 구현하고 있습니다.

산업군 선택 가이드

디스플레이 vs. 반도체 vs. 태양광 — 산업군별 최적 소재

산업군	요구 특성	LT메탈 공급 소재	주요 응용
디스플레이	대면적 균일, Low Particle 고순도, 고밀도, Low Gas 함량 저저항, 식각 접합성·고밀착력 고투과율, 고반사율	Pure 금속 및 합금 타겟 세라믹 타겟 하이브리드 타겟	TFT Gate, S/D 배선 Buffer, 확산방지, Capping Layer Active Layer, 투명전극 OLED Anode / Cathode 저반사막, 고반사막 연구 개발용
반도체	고순도, Low Gas 함량 대면적 균일, Low Particle 결정립 제어	Pure 금속 및 합금 타겟	배선, Barrier, 확산방지 Bumping EMI-Shield 연구 개발용
태양광	대면적 균일, Low Particle 고순도, 고밀도 고이동도, 저저항, 고투과율	세라믹 타겟 Pure 금속 타겟	결정질 Si TCO층 전극 및 시드 Layer

공정 선택 가이드

스퍼터링 vs. 증착 — 공정별 최적 소재

공정 방식	요구 특성	LT메탈 공급 소재	주요 응용
스퍼터링 (Sputtering)	대면적 균일, Low Particle 고순도, 고밀도 저저항, 식각 접합성·고밀착력 고투과율, 고반사율	Pure 금속 및 합금 타겟 세라믹 타겟 하이브리드 타겟	TFT Gate, S/D 배선 Buffer, 확산방지, Capping Layer Active Layer, 투명전극 OLED Anode / Cathode 저반사막, 고반사막
증착 (Evaporation)	고순도, Low Gas 함량	Ag(Disk, Pellet, Granule) Pt Pellet	OLED Cathode 연구 개발용

스퍼터링 타겟

	제품군	제품	순도	조성	적용분야
디스플레이	Ceramic (Planar, Rotary)	ITO	4N 이상	1/3/5/7/10% SnO2 (기타 조성 별도문의)	투명전극, 태양광 외
		IGZO	4N 이상	1:1:1 (기타 조성 별도문의)	TFT 반도체
		IZO	4N 이상	10% (기타 조성 별도문의)	투명전극, 태양광 외
		ITZO	4N 이상	별도문의	TFT 반도체
		Mo Oxide계	3N5 이상	별도문의	저반사
	Metal (Planar, Rotary)	Ag	4N5 이상	Pure & Alloy	Anode 외
		Cu	4N5 이상	Pure	전극배선
		Mo	3N5 이상	Pure & Alloy	전극배선
		Al	4N 이상	Pure & Alloy	전극배선
		Ti	3N5 이상	Pure & Alloy	전극배선
		Cr	4N 이상	Pure & Alloy	Photo mask
	Hybrid (Ceramic+Metal)	WOX	4N 이상	별도문의	저반사
반도체	Metal (Planar, Rotary)	Ta	4N5 이상	Pure	확산방지막
		CuMn	6N 이상	별도문의	반도체 배선
		Au	4N5 이상	Pure	Bumping
		Cu	4N5 이상	Pure	EMI-Shield
		SUS	3N 이상	SUS304L, SUS316L	EMI-Shield
		Ni	3N5 이상	Pure	후공정
	Metal	Pt	4N 이상	Pure	웨이퍼 증착

증착

	제품군	제품	순도	조성	적용분야
증착재	Ag	Disk	4N 이상	Pure Ag	대형 OLED 패널
		Granule	4N 이상	Pure Ag	중소형 OLED 패널
		Pellet	4N 이상	Pure Ag	소형 OLED 패널
	Pt	Pellet	3N5, 4N상	Pure Pt	전극 배선

제품 구성

담당자 연락처

• 패키지소재 : 032-820-9694

• 박막소재 : 032-820-9676

Ceramic Target

ITO, IZO(FPD·터치패널·태양광), IGZO, ITZO(OLED 산화물 TFT) Target을 Planer/Rotary Type으로 공급합니다.

Metal Target

FPD · 터치패널 · 태양광용 · 고순도 Pure 금속 / 합금 Target을 Planer/Rotary Type으로 공급합니다.

Hybrid Target

금속과 세라믹 복합소재로, Mo/W계(저반사) Target을 Planer/Rotary Type으로 공급합니다.

왜 LT메탈인가

세 가지 설계 역량

LT메탈이 글로벌 고객에게 선택받는 이유는 조성, 구조, 신뢰에 대한 설계 역량을 바탕으로 고객이 요구하는 성능과 품질을 구현할 수 있기 때문입니다.
이것이 LT메탈의 핵심 경쟁력입니다.

조성을 설계합니다

타겟 소재의 합금 조성과 불순물 수준이 박막의 전기적·광학적 특성을 직접 결정합니다. LT메탈은 고객의 증착 공정 조건(온도, 압력, 전력 밀도)을 분석하여 최적의 조성을 갖춘 타겟 소재를 설계합니다.

구조를 설계합니다

ITO Target을 포함한 기능성 타겟 소재의 분말을 자체 합성하는 원천 기술로, 입도 분포, 산소 함량, 소결 밀도를 처음부터 설계합니다. 파티클 발생과 이상 방전이 없는 타겟 구조를 보장합니다.

신뢰를 설계합니다

소재 공급에 그치지 않고 고객의 증착 공정에서 최적 성능이 발휘되도록 공정 조건 협의, 시제품 평가, 문제 발생 시 원인 분석까지 신뢰성 지원 체계를 설계합니다.

LT메탈은 그 정밀함을

매일 한 단계씩 높여갑니다.

디스플레이 vs. 반도체 vs. 태양광 — 산업군별 최적 소재